Struktur Utama Peralatan Etch

 

Struktur peralatan etsa arus utama dapat dibagi menjadi dua bagian: badan utama dan peralatan bantu. Di antara mereka, badan utama peralatan etsa meliputi EFEM (ujung depan peralatan), TM (modul transmisi), PM (modul proses), dan tiga modul. Modul EFEM terutama bertanggung jawab untuk memuat wafer dari berbagai peralatan penanganan (termasuk pemuat wafer, robot penanganan, dan derek di atas kepala) di pabrik semikonduktor ke dalam peralatan etsa; Modul TM terutama bertanggung jawab untuk pemindahan wafer di dalam peralatan etsa; PM adalah modul yang benar-benar mengetsa wafer dan reaksi fisikokimia terkait terjadi. Fungsi peralatan bantu adalah untuk memberikan dukungan jaminan untuk tiga modul di atas, dan tata letaknya relatif independen dari badan utama mesin.

Dengan meningkatnya permintaan kapasitas produksi satu peralatan etsa dalam produksi sirkuit terpadu, jumlah rongga reaksi dari satu mesin etsa menunjukkan tren dari lebih sedikit menjadi lebih banyak. Pada tahun 1990-an, Tokyo Electron pertama kali meluncurkan seri Unity dengan beberapa reaktor pada satu platform, Telius, mesin pertama di dunia dengan struktur ruang paralel, dan Tactras dengan 6/8 rongga pada tahun 2010-an. Seri Episode terbaru Tokyo Electron dapat dilengkapi dengan hingga 12 rongga, yang sangat meningkatkan efisiensi ruang peralatan etsa dan menyediakan lebih banyak ruang bagi pabrik untuk memperluas produksi.

Peralatan etsa dengan beberapa reaktor etsa sangat penting bagi pabrik untuk meningkatkan kapasitas produksi. Karena semakin banyak jumlah ruang dalam satu mesin, semakin kecil ruang rata-rata untuk satu ruang. Pemeliharaan pabrik pemurnian pabrik membutuhkan banyak biaya, mengurangi ruang yang ditempati oleh satu peralatan, secara efektif meningkatkan kapasitas produksi wafer pabrik pemurnian per satuan luas, dan mengurangi biaya penyusutan dan pemeliharaan pabrik yang dialokasikan untuk satu wafer. Laju reaksi lebih lambat, dan keluaran wafer per satuan waktu lebih rendah daripada wafer (wafer per jam) (peralatan etsa dielektrik), yang lebih cenderung mengadopsi struktur multi-rongga ultra. Namun, peningkatan jumlah ruang PM menempatkan tuntutan baru pada proses pemuatan dan pengangkutan modul ujung depan EFEM dan modul pengangkutan TM.